FBAR传感器信号处理电路的设计
[摘要] 介绍了AIN薄膜体声波(FBAR)传感器以及信号处理电路的原理,着重设计了传感器的频率检测电路。频率检测电路采用VHDL语言对各个电路子模块编写相应的代码,并利用Quartus9.0完成了仿真。仿真结果表明,相对精度为10-6,达到了预期的设想,满足了FBAR传感器的要求。
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