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  • 非晶硅薄膜太阳能电池及制造工艺
    [摘要] 内容提纲 一、非晶硅薄膜太阳能电池结构、制造技术简介 二、非晶硅太阳能电池制造工艺 三、非晶硅电池封装工艺
    下载说明: 下载次数:129次
  • 2012-03-27
  • 0.14M
  • 氮化硅薄膜的性能研究以及在多晶硅太阳电池上的应用
    [摘要] 摘 要:利用椭圆偏振仪、准稳态光电导衰减法(QSSPOD)、X射线光电子能谱(XPS)、红外吸收光谱(IR)、反射谱等手段,研究了不同硅烷和氨气配比条件以及沉积温度对在多晶硅太阳电池上所沉积的氮化硅薄膜性能的影响,优化了沉积条件。通过比较沉积前后电池的各项性能,确认经氮化硅钝化后···
    下载说明: 下载次数:28次
  • 2012-03-27
  • 0.19M
  • 等离子体_热丝CVD技术制备多晶硅薄膜
    [摘要] 摘要: 采用热丝化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积相结合的技术制备了多晶硅薄膜, 通过Raman散射、XRD、吸收谱等手段研究了薄膜结构和光学性质. 结果表明, 与单纯的热丝和等离子体技术相比, 等离子体2热丝CVD技术在一定条件下有助于薄膜的晶化和提高薄膜均匀性. Auge···
    下载说明: 下载次数:17次
  • 2012-03-27
  • 0.31M
  • 非晶硅热导率
    [摘要] 采用铂电极为加热电阻,研究了厚度为 — 等离子体化学气相沉积工艺制备的氢化非晶硅薄膜的热导率随衬底温度的变化规律用光谱式椭偏仪拟合测量薄膜的厚度,得到了沉积速率随衬底温度变化规律,傅里叶红外表征了在 晶片衬底上制备的薄膜的红外光谱特性, 原子团键合模的震动对热量的吸收降低了薄膜热···
    下载说明: 下载次数:20次
  • 2012-03-27
  • 0.21M
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