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PECVD日常报警说明
[摘要] PECVD日常报警说明
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- 2012-03-27
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PECVD法生长氮化硅
[摘要] PECVD法生长氮化硅
下载说明: 下载次数：14次
- 2012-03-20
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PECVD技术晶体硅太阳电池的最新进展
[摘要] 2011第六届亚洲太阳能光伏工业论坛上，中科院电工研究所太阳能电池技术研究室主任王文静，《PECVD技术晶体硅太阳电池的最新进展》。 本站有幸得到了演讲的第一手资料，绝对原版，值得珍藏。 ppt主要内容： 1、并国内生产线的技术水平到底在哪个水平···
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- 2012-03-13
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PECVD沉积氮化硅薄膜应用研究
[摘要] 采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD) ,在单晶硅衬底上生长氮化硅(SiN) 薄膜,再对薄膜进行快速热退火处理,研究了在不同温度下SiN 薄膜的退火特性. 通过椭圆偏振光仪测量了薄膜厚度和薄膜的折射率,发现退火后薄膜的厚度下降,折射率升高; 采用准稳态光电导衰减QSSPCD ···
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- 2011-07-20
- 0.09M
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PECVD SiNx 薄膜应力的研究
[摘要] 等离子增强化学气相淀积(P lasma2enhanced Chem ical V aper Depo sit ion, PECVD )SiN x 薄膜在微电子和微机械领域的应用越来越重要. 它的一个重要的物理参数—— 机械应力, 也逐渐被人们所重视. 本文研究了应力跟一些基本的淀···
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- 2011-07-20
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PECVD生长氮化硅介质膜的工艺研究
[摘要] 对PECVD生长氮化硅介质膜的工艺条件进行了实验研究,获得了生长氮化硅介质膜的最佳工艺条件,制作出了高质量的氮化硅质膜.
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- 2009-05-04
- 0.19M
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