硅光子器件及其集成技术的研究
[摘要] 主要探讨了偏振分集光路、可调光衰减器、波导耦合型锗光电探测器等硅光器件的研究进展，分析了其结构及技术参数，随后探讨了VOA- PD单片集成技术以及VMUX单片集成技术两种硅基单片集成技术，指出硅光子器件的性能指标已经能满足现代光纤通信系统的要求。
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