氮化硅薄膜的性能研究以及在多晶硅太阳电池上的应用
[摘要] 摘 要：利用椭圆偏振仪、准稳态光电导衰减法(QSSPOD)、X射线光电子能谱(XPS)、红外吸收光谱(IR)、反射谱等手段，研究了不同硅烷和氨气配比条件以及沉积温度对在多晶硅太阳电池上所沉积的氮化硅薄膜性能的影响，优化了沉积条件。通过比较沉积前后电池的各项性能，确认经氮化硅钝化后电池效率提高了40％以上，电池的短路电流也提高了30％以上，对于电池的开路电压提高也很大。
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