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多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构
[摘要] 该研究是改变硅表面微结构， 优化硅材料特性的一种新方法， 并扩展了大功率激光刻蚀在表面微加工领域的应用．
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- 2011-07-27
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紫外激光器及其在激光加工中的应用
[摘要] 紫外激光的波长短，能量聚集集中，分辨率高，特别是具有“冷加工”的特性，能直接破坏连接物质的化学键，而不产生对外围的加热。本文简要介绍了几种紫外激光器的原理特点及其发展现状，并讨论了它在激光加工中的应用。
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- 2010-01-11
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