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多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构
[摘要] 该研究是改变硅表面微结构， 优化硅材料特性的一种新方法， 并扩展了大功率激光刻蚀在表面微加工领域的应用．
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- 2011-07-27
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