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  • 多晶硅与单晶硅的扩散分析
    [摘要] 多晶硅片是由很多不同的单晶硅组成,各单晶晶粒晶向不同,形状也不规则。同一晶粒内部原子排列呈周期性和有序性。多晶硅与单晶硅的主要区别是不同晶向的晶粒间存在晶界。晶粒间结构复杂,硅原子无序排列,可能存在深能级缺陷的杂质。
    下载说明: 下载次数:222次
  • 2011-05-20
  • 0.14M
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