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德国Centrotherm_PECVD设备E2000中文说明书
[摘要] Centrotherm PECVD系统是管式系统，采用平行式石墨舟和低频（40kHz）激发等离子体放电。在低压和高温的条件下，等离子体在石墨舟的石墨惦记之间激发。反应的气体是硅烷和氨气。这些气体反应之后沉积到衬底（硅片）上，形成氮化硅薄膜。薄膜的折射率可以通过调整两种气体的比···
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- 2012-05-31
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等离子体_热丝CVD技术制备多晶硅薄膜
[摘要] 摘要: 采用热丝化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积相结合的技术制备了多晶硅薄膜, 通过Raman散射、XRD、吸收谱等手段研究了薄膜结构和光学性质. 结果表明, 与单纯的热丝和等离子体技术相比, 等离子体2热丝CVD技术在一定条件下有助于薄膜的晶化和提高薄膜均匀性. Auge···
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- 2012-03-27
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等离子体刻蚀机使用说明书（M42200-2型）
[摘要] 概述 1．1 产品特点 1．2主要用途及适用范围 1．3 品种、规格 1．4型号的组成及其代表意义 1．5使用环境及工作条件 2．工作原理及结构特征 2．1 总体结构 2．2设备系统及工作···
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- 2012-03-13
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用冷等离子体方法测定血清中钾，钙，铁的含量
[摘要] 对于目前使用的四极杆质谱仪来说所提供的分辨率有限，这决定了对于一些元素（离子）的检测将会存在大量的干扰。表一列举了K，Ca，Fe在检测过程中存在的潜在干扰以及分开干扰物所需要的最低分辨率。
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- 2012-01-14
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等离子体光谱测量方案
[摘要] 介绍了等离子体光谱测量方案及应用案例。
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- 2011-11-17
- 0.82M
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