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化学气相沉积与无机新材料
[摘要] 化学气相沉积是近一、二十年发展起来的无机材料的新技术。化学气相沉积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体·淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。
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- 2012-03-20
- 5.94M
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