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基于MEMS和数字信号处理器的露点传感器设计
[摘要] 提出一种基于MEMS传感器和数字信号处理技术的电容式露点传感器的设计，实现对大气环境的露点温度检测。利用24位Σ-Δ模数转换器对温度进行测量，并运用PID算法对多级半导体制冷器进行精确控制。经过光学冷镜式露点传感器的对比测试，验证了其露点测量误差小于0.4℃。
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- 2013-06-20
- 0.38M
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基于MEMS和MR传感器的嵌入式系统姿态测量
[摘要] 传统的姿态测量系统采用捷联式惯导系统（SINS），相比平台式惯导系统而言，其具有体积相对更小，成本相对更低，易于安装和维护并且可靠性更高的有点，因此，捷联惯导系统在飞行器导航和姿态测量中得到了广泛的研究和应用。
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- 2013-06-18
- 0.27M
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MEMS陀螺仪工作原理
[摘要] 传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理，因此它主要是一个不停转动的物体，它的转轴指向不随承载它的支架的旋转而变化。
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- 2013-05-28
- 0.21M
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RF_MEMS技术对小型化雷达的作用
[摘要] 该文采用至上而下的方式，介绍了应用RF MEMS技术的雷达系统，将雷达子系统与RF MEMS技术联系起来，具体分析了应用于雷达的RF MEMS开关，移相器、滤波器和谐振器。
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- 2013-05-17
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什么是3D MEMS（三维微电子机械系统）
[摘要] MEMS本质上是一种把微型机械组件(如传感器、制动器等)与电子电路集成在同一颗芯片上的半导体技术。一般芯片只是利用了硅半导体的电气特性，而 MEMS 则利用了芯片的电气和机械两种特性。三维微电子机械系统(3D-MEMS)，是将硅加工成三维结构，其封装和触点便于安装和装配。
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- 2013-03-31
- 0.13M
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MEMS技术在THz无源器件中的应用
[摘要] 太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好。
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- 2012-12-31
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MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用
[摘要] 微电子机械系统（MEMS）技术作为一项新兴的微细加工技术，已开始在各领域应用。它可将信息获取、处理和执行等功能集成，具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等优点，在红外探测技术领域也有非常广泛的应用前景，将为该领域的研究提供一条更新的途径。
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- 2012-09-30
- 0.01M
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一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现
[摘要] 随着光通信技术的迅速发展，MEMS光开关由于具有插入损耗和串话小、消光比高、稳定性好、透明性和可扩展性好、易于集成、偏振不灵敏等优点，将成为核心光交换器件的主流。其静电驱动是目前广泛研究的一种，常见的静电驱动方式有：梳状电极、SDA（scratch drive actuator）···
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- 2012-08-17
- 0.33M
