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PECVDSiN_x薄膜应力的研究
[摘要] 等离子增强化学气相淀积（P lasma2enhanced Chem ical V aper Depo sit ion， PECVD ）SiN x 薄膜在微电子和微机械领域的应用越来越重要。 它的一个重要的物理参数—— 机械应力， 也逐渐被人们所重视。 本文研究了应力跟一些基本的淀···
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- 2012-06-20
- 0.3M
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卧式PECVD在太阳能行业的应用
[摘要] 介绍了一种用于太阳能行业淀积氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积设备．叙述了该设备的结构组成，并重点阐述了工艺原理及关键技术的改进。
下载说明: 下载次数：15次
- 2012-03-27
- 0.23M
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