卧式PECVD在太阳能行业的应用
[摘要] 介绍了一种用于太阳能行业淀积氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积设备．叙述了该设备的结构组成，并重点阐述了工艺原理及关键技术的改进。
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