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  • 氮化硅薄膜的性能研究以及在多晶硅太阳电池上的应用
    [摘要] 摘 要:利用椭圆偏振仪、准稳态光电导衰减法(QSSPOD)、X射线光电子能谱(XPS)、红外吸收光谱(IR)、反射谱等手段,研究了不同硅烷和氨气配比条件以及沉积温度对在多晶硅太阳电池上所沉积的氮化硅薄膜性能的影响,优化了沉积条件。通过比较沉积前后电池的各项性能,确认经氮化硅钝化后···
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  • 2012-03-27
  • 0.19M
  • 湿法腐蚀的优点
    [摘要] 背腐蚀可以用来代替生产中通常使用的等离子刻蚀将扩散后正面和背面的p-n结分开。本文中背腐蚀使用了HF—HNO3体系,没有表面保护。用扫描电镜(SEM)观察了背腐蚀和等离子刻蚀后的表面形貌以及硅/铝界面情况,分析了背反射和内量子效应IQE。用背腐蚀代替等离子刻蚀后晶体硅太阳电池的I···
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  • 2012-03-27
  • 0.21M
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