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电力薄膜电容和超级电容在新能源汽车中的应用
[摘要] 本文档是雷度电子工业事业部经理陈祝明在“高能效设计研讨会：新能源和新能源汽车”的演讲文档，本文档介绍了电力薄膜电容和超级电容在新能源汽车中的应用。
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- 2012-06-26
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CuInS_2薄膜太阳能电池发展现状
[摘要] CuInS_2薄膜太阳能电池发展现状
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- 2012-06-26
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PECVD 沉积氮化硅薄膜在退火过程中的特性变化
[摘要] 采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD) ,在单晶硅衬底上生长氮化硅(SiN) 薄膜,再对薄膜进行快速热退火处理,研究了在不同温度下SiN 薄膜的退火特性. 通过椭圆偏振光仪测量了 薄膜厚度和薄膜的折射率,发现退火后薄膜的厚度下降,折射率升高; 采用准稳态光电导衰减QSSP···
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- 2012-06-20
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NIP型非晶硅薄膜太阳能电池的研究
[摘要] 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF2PECVD)技术制备非晶硅(a2Si)NIP 太阳能电池,其中电池的窗口层采用P 型晶化硅薄膜,电池结构为Al/ glass/ SnO2 / N(a2Si :H) / (a2Si :H) / P(cryst2Si : H) / ITO/ A···
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- 2012-06-20
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p_SiTFT栅绝缘层用SiN_x薄膜界面特性的研究
[摘要] 以NH3 和SiH4 为反应源气体,在低温下采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF2PECVD) 法在多晶硅(p2Si) 衬底上沉积了SiNx 薄膜。系统地分析讨论了沉积温度、射频功率、反应源气体流量比对SiNx 薄膜界面特性的影响。
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- 2012-06-20
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PECVDSiN_x薄膜应力的研究
[摘要] 等离子增强化学气相淀积（P lasma2enhanced Chem ical V aper Depo sit ion， PECVD ）SiN x 薄膜在微电子和微机械领域的应用越来越重要。 它的一个重要的物理参数—— 机械应力， 也逐渐被人们所重视。 本文研究了应力跟一些基本的淀···
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- 2012-06-20
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PECVD氮化硅薄膜的沉积和退火特性_英文_
[摘要] PECVD氮化硅薄膜的沉积和退火特性_英文_
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- 2012-06-20
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PECVD低温制备晶化硅薄膜及其机制浅析
[摘要] PECVD低温制备晶化硅薄膜及其机制浅析
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- 2012-06-20
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