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交替频率PECVD方法沉积低应力氮化硅薄膜及其性质研究
[摘要] 交替频率PECVD方法沉积低应力氮化硅薄膜及其性质研究
下载说明: 下载次数：9次
- 2012-06-20
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PECVD系统
[摘要] PECVD系统
下载说明: 下载次数：46次
- 2012-06-11
- 0.08M
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德国Centrotherm_PECVD设备E2000中文说明书
[摘要] Centrotherm PECVD系统是管式系统，采用平行式石墨舟和低频（40kHz）激发等离子体放电。在低压和高温的条件下，等离子体在石墨舟的石墨惦记之间激发。反应的气体是硅烷和氨气。这些气体反应之后沉积到衬底（硅片）上，形成氮化硅薄膜。薄膜的折射率可以通过调整两种气体的比···
下载说明: 下载次数：56次
- 2012-05-31
- 0.88M
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卧式PECVD在太阳能光伏行业中的应用
[摘要] 卧式PECVD在太阳能光伏行业中的应用
下载说明: 下载次数：44次
- 2012-04-17
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PECVD类型及技术特点
[摘要] 钝化膜的功能 • PECVD技术分类 • 各种PECVD技术简介 • 各种PECVD技术比较
下载说明: 下载次数：20次
- 2012-04-10
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用脉冲PECVD涂镀柔韧碳氟化合物丝涂层
[摘要] 用脉冲PECVD涂镀柔韧碳氟化合物丝涂层
下载说明: 下载次数：8次
- 2012-03-27
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卧式PECVD在太阳能行业的应用
[摘要] 介绍了一种用于太阳能行业淀积氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积设备．叙述了该设备的结构组成，并重点阐述了工艺原理及关键技术的改进。
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- 2012-03-27
- 0.23M
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PECVD顶级学习资料
[摘要] SiNx:H减反射膜和PECVD技术 SiNx:H简介 SiNx:H在太阳电池中的应用 PECVD原理 光学特性和钝化技术 系统结构及安全事项
下载说明: 下载次数：25次
- 2012-03-27
- 0.61M
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