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  • 卧式PECVD在太阳能行业的应用
    [摘要] 介绍了一种用于太阳能行业淀积氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积设备.叙述了该设备的结构组成,并重点阐述了工艺原理及关键技术的改进。
    下载说明: 下载次数:15次
  • 2012-03-27
  • 0.23M
  • ICP-AES检测工业硅中八种杂质元素
    [摘要] 本文采用HF和HNO3 (6:2)微波消解工业硅样品,用ICP-AES法同时测定工业硅中的Cu、Mn、Fe、Ni、Ti、Al、P和B等八种杂质元素。该方法快速简便、准确率高、精密度好,对产品质量控制及检验杂质元素含量,具有可操作性和很好地应用价值。
    下载说明: 下载次数:16次
  • 2012-03-27
  • 2.97M
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