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  • 基于平行式液晶技术的可变光衰减器
    [摘要] 介绍了一种基于液晶技术的可变光衰减器( VOA)的原理, 提出了设计方案, 并对器件性能进行了测试。
    下载说明: 下载次数:24次
  • 2012-03-28
  • 0.45M
  • 等离子体_热丝CVD技术制备多晶硅薄膜
    [摘要] 摘要: 采用热丝化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积相结合的技术制备了多晶硅薄膜, 通过Raman散射、XRD、吸收谱等手段研究了薄膜结构和光学性质. 结果表明, 与单纯的热丝和等离子体技术相比, 等离子体2热丝CVD技术在一定条件下有助于薄膜的晶化和提高薄膜均匀性. Auge···
    下载说明: 下载次数:17次
  • 2012-03-27
  • 0.31M
  • 卧式PECVD在太阳能行业的应用
    [摘要] 介绍了一种用于太阳能行业淀积氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积设备.叙述了该设备的结构组成,并重点阐述了工艺原理及关键技术的改进。
    下载说明: 下载次数:15次
  • 2012-03-27
  • 0.23M
  • PECVD顶级学习资料
    [摘要] SiNx:H减反射膜和PECVD技术 SiNx:H简介 SiNx:H在太阳电池中的应用 PECVD原理 光学特性和钝化技术 系统结构及安全事项
    下载说明: 下载次数:25次
  • 2012-03-27
  • 0.61M
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