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氮化硅薄膜的性能研究以及在多晶硅太阳电池上的应用
[摘要] 摘 要：利用椭圆偏振仪、准稳态光电导衰减法(QSSPOD)、X射线光电子能谱(XPS)、红外吸收光谱(IR)、反射谱等手段，研究了不同硅烷和氨气配比条件以及沉积温度对在多晶硅太阳电池上所沉积的氮化硅薄膜性能的影响，优化了沉积条件。通过比较沉积前后电池的各项性能，确认经氮化硅钝化后···
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- 2012-03-27
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等离子体_热丝CVD技术制备多晶硅薄膜
[摘要] 摘要: 采用热丝化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积相结合的技术制备了多晶硅薄膜, 通过Raman散射、XRD、吸收谱等手段研究了薄膜结构和光学性质. 结果表明, 与单纯的热丝和等离子体技术相比, 等离子体2热丝CVD技术在一定条件下有助于薄膜的晶化和提高薄膜均匀性. Auge···
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- 2012-03-27
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用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量
[摘要] 用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量
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- 2012-03-27
- 0.19M
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卧式PECVD在太阳能行业的应用
[摘要] 介绍了一种用于太阳能行业淀积氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积设备．叙述了该设备的结构组成，并重点阐述了工艺原理及关键技术的改进。
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- 2012-03-27
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用红外显微镜分析的多层薄膜
[摘要] 食品和药品包装用的薄膜，多用多层薄膜。对多层薄膜的各层成分的定性最一般的方法是将薄膜断面切片，所得的试样片用红外显微镜进行透射测定的方法。用这种方法时如果膜厚在约 10μm 以上，则可以测定层的光谱。
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- 2012-03-27
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各种薄膜的膜厚测定
[摘要] 测定物质的膜厚有各式各样方法，而用紫外，可见分光光度计，可进行简单的无损测定。本文探讨了用紫外、可见分光光度计可测定多少厚度的膜厚。
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- 2012-03-27
- 1.63M
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化学气相沉积与无机新材料
[摘要] 化学气相沉积是近一、二十年发展起来的无机材料的新技术。化学气相沉积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体·淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。
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- 2012-03-20
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非晶-微晶硅基薄膜叠层电池研究现状
[摘要] 武汉理工大学 光电子材料与器件 课程论文 1.非晶-微晶硅基薄膜叠层电池的基本原理 2.叠层电池以及其商业组件的制备 3.非晶硅-微晶硅叠层薄膜电池发展现状 4.非晶硅-微晶硅叠层薄膜电池研究趋势
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- 2012-03-13
- 4.78M
